全球首座5nm芯片工廠坐落于臺(tái)灣
2018-02-01 16:37:39
1月26日，臺(tái)灣南部科學(xué)工業(yè)園區(qū)（STSP），臺(tái)積電的Fab 18晶圓廠一期工程順利開工。這是臺(tái)積電在臺(tái)灣的第四座300mm晶圓廠，也將第一次投產(chǎn)5nm新工藝。臺(tái)積電打算2019年第一季度完成新工廠的建設(shè)，并開始準(zhǔn)備設(shè)備遷入，2019年第二季度試產(chǎn)，2020年初投入5nm的批量生產(chǎn)。
Fab 18的二期工程預(yù)計(jì)將在今年第三季度開工，2020年投入量產(chǎn)，三期工程則計(jì)劃2019年第三季度建設(shè)，2021年量產(chǎn)。
臺(tái)積電表示，三期工程全部投產(chǎn)后，F(xiàn)ab 18的年產(chǎn)能將達(dá)到100萬塊300mm晶圓。
臺(tái)積電董事長張忠謀表示：“Fab 18意味著臺(tái)積電的三個(gè)重要承諾：對(duì)未來發(fā)展的承諾，對(duì)持續(xù)推動(dòng)技術(shù)進(jìn)步的承諾，對(duì)臺(tái)灣的承諾。5nm技術(shù)投資預(yù)計(jì)7000億臺(tái)幣（約合人民幣億1520元），其中Fab 18的投資將超過5000億臺(tái)幣（約合人民幣1080億元）。”
臺(tái)積電目前在STSP有超過1萬名員工，F(xiàn)ab 18全部完工后可提供超過1.4萬個(gè)工作崗位。
臺(tái)積電5nm FinFET工藝同時(shí)針對(duì)高性能計(jì)算和移動(dòng)應(yīng)用優(yōu)化，首次引入EUV極紫外光刻，減少多重曝光的復(fù)雜性，并能更好地縮小芯片面積。
臺(tái)積電還重申，3nm工廠未來不會(huì)前往美國。按照張忠謀此前說法，臺(tái)積電將在2020年開工建設(shè)3nm工廠。
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晶圓
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